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核心参数
- 微波功率：16kw
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
生长台尺寸：φ100mm
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）
微波电源： MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
腔体冷却方式：水冷
测温：红外测温仪300-1400℃
机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）
供电：380V 三相五线
能耗：16kw
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成都稳正科技有限公司
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