核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
| 常规配置及参数 | |
|---|---|
| 电源输入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波电源功率: | 6KW(2.45GHz) |
| 样品台: | 2英寸可升降水冷台 |
| 腔体生长压力: | 10-200Torr |
| 气体管路: | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
| 反应腔体: | 不锈钢柱形双层水冷腔体 (带5个观察窗) |
| 主机柜尺寸: | 1500mm(W)×700mm(D)×2100mm(H) (约380Kg) |
| 控制柜尺寸: | 570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) (约240Kg) |
公司集研发、生产制造、销售和贸易于一体,拥有自己的核心技术优势:低成本、高效率微波等离子体CVD设备开发和生产技术;英寸级高质量单晶金刚石衬底量产“克隆技术”;面向5G通信的金刚石基GaN复合器件技术;电子器件级单晶金刚石薄膜的外延生长和掺杂技术;大尺寸多晶金刚石制备和加工技术等。德盟特致力于低成本高效率MPCVD设备、金刚石电子级半导体衬底、外延片、雷达窗口、微波功率器件、传感器、金刚石基GaN复合器件、高质量大颗粒合成钻石等的产业化生产,形成金刚石产业集群,促进国内金刚石产业的跨越式发展,为我国在高科技和基础材料领域占领制高点而做出突出贡献。
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西安德盟特半导体科技有限公司
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