超高速Omega扫描方法

• 比Theta扫描方法快200倍

• 自动评估三维完整的晶格方向

• 在5秒内测定整个晶体的方位

紧凑，用户友好和成本效益

• 易于移动和轻量级的桌面设计

• 样品处理方便，操作方便

• 空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)

有效的质量控制流程

• 用于标准研究和工业工作流程

• 晶体方位设定及标示

• 预编程立方晶体参数

• 先进方便的软件

• 精度高，例如高至(1/100)°

控制切割、研磨和抛光

• 单晶的完全晶格取向

• 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如：2-12英寸的晶圆片和20公斤以下的晶锭

特点

• 确定单晶的完全晶格取向

• 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

• 立方晶体任意未知取向的测定

• 特别设计用于点阵方向的方位设置和标记

• 气冷式x射线管，无需水冷

• 适合于研究和生产质量控制

技术参数

可测量材料的例子

• 立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP                 所有想要的晶体方向参数                   在5秒内一次旋转中被捕获

• 立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

• 正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4

• 六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(蓝宝石)，GaPO4, La3Ga5SiO14

• 斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3

• 可根据客户的要求进一步选料