G160QQ 系列电容式压力传感器，温度控制在 160°C，适用于半导体、光伏设备工艺过程的真空测量,由于采用石英薄膜为核心敏感元件，使其在具有腐蚀性气体的环境中依然呈现良好的稳定性和重复性，传感器配备了高精度信号处理电路，先进的信号调理技术能够保证产品的高精度和稳定的工作温度。通过使用金属外壳、内部信号屏蔽以及在所有输入和输出上使用滤波网络，增强了产品在嘈杂电气环境的抗扰度。此外，内部还设计了污染物排除系统(CES)和沉积挡板,可将气体中的颗粒物阻挡在传感器外。G160QQ 系列电容式压力传感器，温度控制在 160°C，适用于半导体、光伏设备工艺过程的真空测量,由于采用石英薄膜为核心敏感元件，使其在具有腐蚀性气体的环境中依然呈现良好的稳定性和重复性，传感器配备了高精度信号处理电路，先进的信号调理技术能够保证产品的高精度和稳定的工作温度。通过使用金属外壳、内部信号屏蔽以及在所有输入和输出上使用滤波网络，增强了产品在嘈杂电气环境的抗扰度。此外，内部还设计了污染物排除系统(CES)和沉积挡板,可将气体中的颗粒物阻挡在传感器外。G160QQ 系列电容式压力传感器，温度控制在 160°C，适用于半导体、光伏设备工艺过程的真空测量,由于采用石英薄膜为核心敏感元件，使其在具有腐蚀性气体的环境中依然呈现良好的稳定性和重复性，传感器配备了高精度信号处理电路，先进的信号调理技术能够保证产品的高精度和稳定的工作温度。通过使用金属外壳、内部信号屏蔽以及在所有输入和输出上使用滤波网络，增强了产品在嘈杂电气环境的抗扰度。此外，内部还设计了污染物排除系统(CES)和沉积挡板,可将气体中的颗粒物阻挡在传感器外。

量 程

OP1 0.1Torr

100 1Torr

101 10Torr

201 20Torr

102 100Torr

103 1000Torr

性能参数(读值精度/分辨率)

L 0.5% of R.D./0.03% of FS.

N¹ 1% of R.D./0.03% of F.S.

温度影响

温度系数 零 点        0.02% of F.S./°C

工作温度 10°C～+50°C

存储温度 -20℃～+65℃

物理参数

壳 体 铝合金

电气接口 D型9针/15针

机械接口 见订购信息

内部容积 4.4cc

暴漏于真空的材料 石英,不锈钢

安装方向 垂直or 水平/按需

**压力 300kPa

重 量 1082 ± 5g(不含接头)