CC 系列冷阴极电离复合规是一种基于冷阴极放电原理的高精度真空测量装置，覆盖 5*10-9~1000mbar 全量程测量,小型化设计并支持任意角度安装,适配紧凑型真空腔体及复杂工业设备集成,关键组件可快速拆卸清洗,大幅降低维护频率和成本。结合高稳定放电技术，极低压力下仍能可靠点火,确保是实时响应与测量结果准确性。

型号 精度

CC1

100~1000mbar ± 50%R.D.

1*10^-8~100mbar ± 30%R.D..

测量范围

5*10^-9~1000 mbar

温度影响

工作温度 +5°C～+55°C

存储温度 -40°C～+65°C

烘烤温度 +150°C⁽¹⁾

物理参数

壳 体 铝合金

电气接口 RJ45、DB9

机械接口 见订购信息

内部容积 ≈22cc

暴漏于真空的材料 不锈钢、钼、陶瓷、氟橡胶、硅、氧化硅、氮化硅、金

安装方向 垂直or 水平/按需

**压力 10bar

重 量 370 ± 5g

电气参数

运行电压 ≤3.3kv

运行电流 ≤1mA

输出阻抗 <10Ω

功耗 ≤3.5W

响应时间

>1*10^-6mbar<100ms

1*10^-8～1*10^-6mbar≈1S