PMx 系列皮拉尼式压力传感器利用惠斯通电桥和不同气压 下气体的热导率差异检测气压，采用的 MEMS 皮拉尼芯体 具有比传统皮拉尼规更低的测量下限。传感器可选屏幕显示和 SP 设定点，且可以在运行压力下保持高度可靠性，可实 现从中等真空到大气压的精确测量。坚固耐用，结构设计紧 凑，具有功耗低、稳定性优、维护保养方便的优点。

型号

精度

PM1

0.05～0.1Pa ±25% R.D.

0.1～10⁴Pa ±15% R.D.

10⁴～10⁵Pa ±30% R.D.

温度影响

工作温度+5℃～+60℃

存储温度-20℃～+65℃

物理参数

壳 体铝合金、不锈钢

电气接口RJ45/D型9针

机械接口见订购信息

内部容积4.1cc

暴漏于真空的材料不锈钢、镍、氮化硅、氧化硅

安装方向垂直or 水平/按需

**压力300kPa

重 量160±2g(不含接头)

电气参数

供 电24VDC±5VDC

输出信号0～10V

现场总线RS485

输出阻抗<10Ω