聚焦现场丨2025中国国际低温键合3D集成技术研讨会
北京特思迪半导体设备有限公司2025-10-31
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2025年8月3日,聚焦全球3D集成技术前沿的2025中国国际低温键合3D集成技术研讨会在天津盛大启幕。深耕于半导体平面加工技术的特思迪半导体,携专注解决晶圆表面平坦化的CMP设备及工艺解决方案亮相本次盛会,与半导体产业链专家共探晶圆CMP核心工艺技术突破。
01方案展示 直击行业痛点

低温键合技术支撑芯片三维堆叠发展的同时,超薄晶圆加工仍面临三大难题:超薄晶圆应力翘曲控制难、键合界面纳米级缺陷消除需求、多层堆叠厚度均一性保障。特思迪推出设备+工艺解决方案,通过分区加压抛光头、在线厚度测量技术和温度监测与控制系统,致力于为产业链提供更稳定、更高效的表面处理支持。
02精彩呈现 聚焦应用现场

会议期间,特思迪技术团队与全球专家及行业同仁深入交流,分享CMP工艺在低温键合技术后的实践经验,探讨如何通过表面处理技术创新进一步提升3D集成的良率与性能。期待通过这次国际化的技术交流平台,与产业链伙伴加强协作,共同推进3D集成技术的成熟应用。
03专注CMP表面处理技术
特思迪将持续投入CMP技术研发,通过设备性能升级与工艺创新深度协同,着力解决半导体芯片制造中的表面处理挑战,助力客户提升产品良率与长期可靠性。我们愿与产业链伙伴携手,共同推动晶圆CMP技术向更高集成度、更强可靠性的方向持续突破,为芯片制造提供坚实基础。
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