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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
该设备适用于8-12英寸晶圆的减薄和抛光，全部采用气浮主轴和气悬浮转台设计，具备自动测厚，集成晶圆校准等功能，全自动上下片，干进干出。
TGP-3350
**晶圆尺寸
12英寸
减薄主轴功率
7.5 kw
减薄主轴砂轮尺寸
OD303 mm
抛光头尺寸
OD450 mm
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北京特思迪半导体设备有限公司
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