核心参数
- 器件类型:二极管
- 掺杂类型:p型(硼)
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
低压微波等离子体源
适用于清洗、蚀刻、灰化、沉积、灭菌、预处理
可扩张的紧凑式设计
集成气体喷淋
集成微波发生器系统
高等离子体密度
高效,低伤害
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