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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
微波功率[W]： 3000
频率[MHz]： 2450
过程气体： O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4和其他氟机气体
工艺流程： 蚀刻和沉积
输出连接器类型：ISO-K 63
等离子体室材料： 陶瓷
电源标称电压[V]： 230/208
输出连续波[W]： 3000
外部尺寸[mm]： 310,20*346,50*488,30（宽*高*深）
重量[kg]： 29
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北京杰能达机电设备有限公司
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