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核心参数
- 器件类型：二极管
- 掺杂类型：p型（硼）
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
该设备是适用于6/8英寸晶圆研削的双主轴三工位全自动减薄机，搭配高精度主轴，配置机械手上下片，集成自动对中、传送定位、清洗干燥功能，实现干进干出的全自动运行。设备具有自动测厚、多段研削、超负载等待等功能，加工精度高。
TFG-2200TFG-3200
**晶圆尺寸
8英寸
砂轮规格
Ø203(OD)mm
砂轮轴功率
6 kw
工作台数量
3个
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北京特思迪半导体设备有限公司
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