优势✔️基于双折射应力测量模型实现光学延迟和内应力分布二维测量✔️包含多波长测量功能，光学延迟测量量程大适用对象大口径注塑光学件，石英玻璃件等测量原理基于偏振光应力双折射效应检测材料内部应力分布。材料在成型过程中会由于工艺及环境条件形成不同的材料内部分布导致内应力；同时材料内部的缺陷也会导致应力集中。内应力会导致应力双折射效应，偏振光透过材料时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量推算出材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布。SV系列技术规格产品型号SV20SV50SV400样品测量口径1~10mm2英寸/60*80mm400*300mm可订制化样品载台测量模式单波长/多波长应力测量

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适用对象智能汽车风挡玻璃、车窗玻璃、大尺寸曲面玻璃镜等技术规格指标参数HUD窗口测量口径500mm*400mmmax楔角范围0-1.5mrad楔角重复精度0.005mrad楔角单次测量时间<0.1s3D面型最小采样间隔0.5mm面型误差（PV值）测量不确定度<20um单片测量时间<1min典型值测量案例

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SM200_d技术规格项目参数测量对象2英寸-8英寸抛光/图形晶圆采样间隔均匀全口径采样，最小采样间隔0.1mm测量时间单次测量时间<30s（6英寸晶圆全口径）三维翘曲翘曲测量范围0.5μm-5000μm*重复性0.2μm或1%精度0.5μm或1.5%薄膜应力应力测量范围1MPa-10000MPa曲率测量范围0.5m-10000m曲率半径重复精度<1%1σ(@曲率半径25m)薄膜应力重复精度1.5MPa或1%工作软件StressMapper软件：采图、测量控制及计算分析软件功能三维翘曲显示、晶圆翘曲参数统计（BOW，WARP等）、薄膜应力及分布、时变稳定性分析、多种拟合算法、空间滤

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